耐腐蚀质量流量控制器

产品特色

• 数字化产品
• 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
• 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
• 可选高精度：优于 0.5%
• 量程可控比 1% - 100%
• 响应时间快，100 ms（可调）
• 内置 128 种常规及腐蚀性气体
• 可现场标定混合气体（最多 5 种成分），并存储 20 种混合气
• 可适用于诸多腐蚀性气体

行业应用

• 大学 / 研究所
• 环境监测
• 真空行业及镀膜
• 工业炉窑
• 汽车制造
• 计量校准
• 过程工艺气体测量

技术指标

介质要求 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类 内置了 128 种气体，用户可现场编辑混合气体
 （最多 5 种成分），并最多存储 20 种混合气
量 程 从 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（详情请咨询）
量程可控比 1%-100%
最大显示流量 128 % 满量程
最大可控流量 102.4 % 满量程
显 示 屏 带背光按键，标准为 LCD 显示屏，可选 TFT 彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）
高 精 度 ±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程），选配
 仅适用于量程为 5 SCCM - 500 SLPM 的设备累计流量精度 流量精度之外增加 ±0.5% 读数额外误差
重 复 性 ± 0.2 % 满量程
质量流量零点和满量程温度漂移 0.02% 满量程 /℃（从 25℃开始）
质量流量零点和满量程压力漂移 ±(0.08% 读数 + 0.02% 满量程 )
 （从校准压力开始）
控制响应时间（T63） 用户可调， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms
 10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms
 50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms
显示响应时间 用户可调， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms
 10 SCCM - 20 SLPM : ＜ 10 ms
 50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms
预热时间 ＜ 1 s
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
阀门功能 常闭型
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温 / 低温选项）
温度精度 ± 0.75℃ 
 工作湿度 0 ～ 100 %，无冷凝
最大工作压力 1 MPa 表压
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压 80KPaA 以上使用； 
 其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.5% 读数 
极限耐压 1.1 MPa 表压
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号 40 Hz@19200 波特率；模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入 / 输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485） 
 Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模拟输入 / 输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ±0.1% 满量程误差
供电电压 12 - 30 VDC 
供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询）额外加 40 mA（ 4-20 mA ）
电气接口 DB9M，可选 8 针 Mini-DIN、DB15、6 针工业接头等
泄漏率（外漏） 选择 HLC 选项，泄漏率可低至 1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 316L、303、和 430FR 不锈钢、FFKM（标准）
 可根据特殊气体选用 FKM 或 EPDM，R 阀门增加 410 不锈钢
过程连接 详情参考压损表
安装位置 小阀门无要求，R 阀门需阀体垂直向上安装
防护等级 IP40 
认 证 ISO 9001、NIST 溯源认证、CE、RoHS、REACH 声明、CSA