产品特色
• 数字化产品
• 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
• 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
• 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
• 可选高精度：优于 0.5%
• 可测范围广，0.01 ～ 100% 满量程
• 响应时间快，优于 100 ms
• 内置 98 种气体
• 可现场编辑混合气体（最多 5 种成分），并最多存储 20 种混合气
行业应用
• 大学 / 研究所
• 环境监测
• 真空行业及镀膜
• 工业炉窑
• 半 导 体
• 汽车制造
• 光 伏
• 燃料电池
• 计量校准
• 过程工艺气体测量
精度升级
量程为 0.5 SCCM - 6000 SLPM，
其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
性能指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了 98 种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（详情请咨询）
测量和控制范围 0.01~100% 满量程
过程连接 标准为 NPT 内螺纹，详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST、CE、RoHS、REACH、CSA （可选）
尺寸/压损
气体兼容表
订购信息
订货时，须指定如下参数
• 型号系列：21S 系列
• 气体种类：
• 流量范围：
• 工作温度：
• 入口压力：
• 出口压力：
• 过程连接尺寸和类型：参考上面的尺寸 / 压损表
• 模拟输入 / 输出信号：
• 数字输入 / 输出信号：
• 标定温度标准：缺省 25℃
• 选项及其它：可选防爆、本地 / 远程显示、带开关量报警带累积流量、高精度等选项，详情请致电
• 气体种类：
• 流量范围：
• 工作温度：
• 入口压力：
• 出口压力：
• 过程连接尺寸和类型：参考上面的尺寸 / 压损表
• 模拟输入 / 输出信号：
• 数字输入 / 输出信号：
• 标定温度标准：缺省 25℃
• 选项及其它：可选防爆、本地 / 远程显示、带开关量报警带累积流量、高精度等选项，详情请致电
