产品特色
• 价格低廉，性能卓越
• 超小的体积，轻松置于掌心，适合系统集成
• 压损极低，最小满量程压损仅为 600 Pa
• 内置精巧的 PI 阀（比例微分阀），控制稳定、精确
• 测量和控制范围 0.1 ~ 100% 满量程，一台设备适用于多个应用
• 状态指示灯（LED），可指示电源，串口通讯，错误
• 配置累计功能，可用于监测转移、批量和定量
行业应用
• 医疗设备配套
• 环境分析仪器配套
• 光谱色谱分析仪器配套
• 其它气体流量测控行业
技术指标
介质要求 洁净、干燥、无腐蚀性气体
介质种类 可兼容 Air，N2，O2，CH4，Ar，CO2，N2O，He，H2
满 量 程 标准 0 - 100 SCCM 至 0 - 100 SLPM，
可 10%-125% 量程标定
测量和控制范围 0.1 ~ 100% 满量程 （1000:1）
精 度 Air/N2/O2/CH4：±1.5% 读数或者 ±0.2% 满量程，取大值；
He/H2：±1.8% 满量程；
Ar：±1.5% 读数或者 ±0.5% 满量程，取大值；
CO2/N2O：100 SCCM-2 SLPM，±1.5% 读数或者
±0.5% 满量程，取大值；
5-20 SLPM，±2.0% 读数或者 ±1.0% 满量程，取大值
50-100SLPM，±3.0% 读数或者 ±2.0% 满量程，取大值
重 复 性 ±0.25 % 读数或者 ±0.05% 满量程，取大值
温度敏感性（质量流量零点和满量程漂移） ± 0.05 % 读数 / ℃
（从校准温度开始）
温度精度 ±1.5℃
控制响应时间（T63） 优于 100 ms，与量程相关，用户可调
预热时间 1 min（5 min 最佳）
标准状况（STP） 0℃，20℃，25℃，70 °F & 1Atm，用户可定制
操作温度 0 ～ 50℃（介质和环境）
工作湿度 0- 95 %，无冷凝
最大操作压力 100 SCCM-5 SLPM：0-145 PSIG
10 SLPM：0-100 PSIG
20 SLPM：0-60 PSIG
北京博诺格仪器有限公司
50-100 SLPM：0-145 PSIG
注：10SLPM 和 20SLPM 可定制阀门选项，提高操作压力
数字信号 Modbus ASCII 和 RTU 基于 RS485 或 RS232
模拟信号 0 - 5 Vdc 或 4 - 20 mA
电气接口 6 针 JST GH 供电需求 12-24 Vdc，12mA
材 质 主体材质：硬质阳极氧化铝；密封材质：FKM
过程连接 NPT 或 SAE 内螺纹
安装方向 平行方向校准
防护等级 IP40
状态指示灯（LED） 电源，串口通讯，错误
